Semiconductor industrie

Semiconductor productiefabrieken kunnen een van de zwaarste industrieën presenteren voor materialen, waaronder O-ringen. Zo moeten O-ringen onder andere bestand zijn tegen hoge temperaturen, agressieve chemicaliën en rigoureuze schoonmaakmiddelen.

Het selecteren van een rubbercompound voor de semiconductor industrie is het vinden van een juiste balans tussen de specifieke applicatie en een rubbercompound. ERIKS is expert op het gebied van O-ringen en kan door vele jaren ervaring in deze industrie u goed adviseren over de juiste O-ring voor uw toepassing.

Kies uw O-ring voor de Semiconductor industrie

Twijfelt u over welke O-ringen geschikt zijn voor uw toepassing? Maak dan uw keuze met behulp van het onderstaande schema. Hier kunt u aan de hand van de hardheid en het temperatuurbereik de juiste rubbercompound kiezen. Door te klikken op de verschillende rubber compounds wordt u direct geïnformeerd over de bijhorende O-ring.

Tevens kunt u gebruik maken van de ERIKS O-ring calculator om snel en gemakkelijk de juiste O-ring te vinden.

Rubbercompound	Hardheid	Temperatuurbereik
FFKM - 4079	75 Sh	-10°C tot +315°C
FFKM - 8085	80 Sh	-10°C tot +225°C
FFKM - 9100	70 Sh	-10°C tot +300°C

FFKM - 4079

FFKM is de ISO benaming voor de merknaam Kalrez®, onderdeel van Dupont®. Kalrez® is een materiaal waarvan de chemische resistentie vergelijkbaar is met Teflon® en de rubbereigenschappen grenzend zijn aan die van Viton®. Dit compound is zeer stabiel bij hoge temperaturen en is uitstekend verouderingsbestendig. Deze O-ring heeft een uitstekende chemische resistentie en mechanische eigenschappen. De maximale temperatuur is 315°C. De O-ring is daarom goed in te zetten in applicaties waarbij de temperatuur schommelt.

De O-ring FFKM 4079 is niet geschikt voor gebruik in heet water of stoom. Daarnaast mag dit compound ook nooit gebruikt worden in combinatie met ethylene oxide en propylene oxide. Kalrez® compound 7075 overklast compound 4079 qua eigenschappen en is vaak beter te verkrijgen.

Klik hier voor het assortiment

FFKM - 8085

De O-ring FFKM 8085 is zeer stabiel bij hoge temperaturen en is uitstekend verouderingsbestendig. Dit compound is ook bekend onder de naam Kalrez® Sahara 8085 en is speciaal ontworpen voor de semicon industrie. Daarnaast zorgt deze O-ring voor minimale deeltjes in NF3 plasma en een goede thermische stabiliteit. De compound heeft uitstekende mechanische eigenschappen en kan in zowel statische als dynamische toepassingen worden gebruikt. Deze O-ring is beige van kleur en ultrapure reiniging en verpakking is standaard voor artikelen in dit compound.

Klik hier voor het assortiment

FFKM - 9100

De O-ring FFKM 9100 is zeer stabiel bij hoge temperaturen en is uitstekend verouderingsbestendig. Kalrez® 9100 is een compound dat ontwikkeld is voor semiconductor plasma-applicaties als ALD, HDPCVD, PECVD, SACVD etc.

Klik hier voor het assortiment

Toepassingen

Afdichtingen en technische componenten die gebruikt worden in de semiconductor industrie worden in vele uiteenlopende toepassingen gebruikt. U kunt hierbij denken aan afdichtingen in:

• Advanced IC's
• Optische fibersensoren
• Koeling elektronische componenten
• MEMS (Micro-Electronic-Mechanical-Systems)
• Medische applicaties (pacemakers, CT-scanners)

Bent u op zoek naar een O-ring, of heeft u vragen over onze producten? Neem dan contact op met onze specialisten.